搜索到 篇“ 原子层沉积 “的相关文章

相关作者

陈蓉
作品数：200被引量：42H指数：4
供职机构：华中科技大学
研究主题：原子层沉积 喷头 前驱体 包覆 量子点
夏洋
作品数：501被引量：67H指数：5
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
覃勇
作品数：110被引量：14H指数：2
供职机构：中国科学院山西煤炭化学研究所
研究主题：原子层沉积 催化剂 纳米催化剂 氧化物 修饰
卢维尔
作品数：119被引量：33H指数：4
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 共掺 受主 掺杂
单斌
作品数：176被引量：46H指数：5
供职机构：华中科技大学
研究主题：原子层沉积 喷头 前驱体 莫来石 催化剂