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- 一种半导体陶瓷管旋涂机
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- 黄景
- 一种半导体陶瓷基板烧结治具
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- 刘雄光黄岱孙超
- 半导体陶瓷零部件种类及应用
- 2024年
- 随着科技的进步,手机、电脑、电动汽车、机器人等智能产品融入到人们的生活中。这些产品中存在着大量的半导体芯片,制备芯片需要用到半导体设备,如刻蚀机、光刻机、离子注入机等。打开半导体设备,里面大部分部件是陶瓷零部件,陶瓷零部件具有耐高温、耐腐蚀、精度高、强度高等优异性能,其可以很好地用在半导体设备内。大部分陶瓷零部件在半导体制程中作为设备的关键零部件直接与晶圆接触,可以实现晶圆表面温度高精度控制和快速升降温。本文中对半导体陶瓷零部件的制备原料,氧化铝、碳化硅、氮化铝、氮化硅、氧化钇等、半导体陶瓷零部件种类(半导体陶瓷手臂、陶瓷基板、陶瓷喷嘴、陶瓷窗、陶瓷腔体罩、多孔陶瓷真空吸盘等)、半导体陶瓷零部件的制备工艺,(粉料制备、粉料成型、高温烧结、精密加工、表面处理)做了介绍。
- 陶近翁贺婷婷邱立功
- 关键词：半导体陶瓷零部件
- 一种半导体陶瓷烧结炉温度控制系统
- 本发明公开了一种半导体陶瓷烧结炉温度控制系统，涉及温度控制技术领域，解决了现有技术中对陶瓷烧结炉内温度检测不够准确且缺乏实时温度控制的手段容易造成陶瓷烧结失败的问题；所述方法包括：红外摄像头对陶瓷烧结炉内实时陶瓷视频和温...
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- 一种升温均匀的半导体陶瓷基板生产用烧结装置
- 本实用新型涉及半导体陶瓷基板生产技术领域，公开了一种升温均匀的半导体陶瓷基板生产用烧结装置，包括烧结箱，所述烧结箱的内底壁固定安装有电动伸缩杆，电动伸缩杆的伸缩端固定安装有放置台，烧结箱的右侧面固定安装有抽气泵，抽气泵的...
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- 一种单层陶瓷电容器晶界层半导体陶瓷材料及其制备
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- 葛鸿钊葛培盛杨春根程艳萍袁镇安
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- 刘志哲万雨菲张口笑邱宇泽
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- 王德君
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