搜索到1273篇“ 剪切干涉“的相关文章
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- 董磊
- 一种光束自旋同步剪切干涉方法
- 本发明公开了一种光束自旋同步剪切干涉方法，包括以下步骤：待测光束经过半波延迟几何相位偏振光栅后，待测光束中的两个自旋分量在到达四分之一波延迟几何相位偏振光栅前完全分离；两个分离的自旋分量经过四分之一波延迟几何相位偏振光栅...
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- 双光栅朗奇剪切干涉高精度相位提取方法
- 一种双光栅朗奇剪切干涉高精度相位提取方法，该方法基于双光栅朗奇剪切干涉仪。干涉仪结构包含：光源及照明系统、物面衍射光栅板、像面衍射光栅板、二维光电传感器和计算处理单元。在被测光学成像系统的物平面和像平面分别放置物面衍射光...
- 常春超李中梁卢云君
- Ronchi剪切干涉仪高精度相位提取及误差分析
- 2024年
- 双光栅Ronchi剪切干涉是一种基于瞳面测量的波像差检测技术,该技术具有无需参考面、共光路测量以及结构简单、易于集成等优点,适用于光刻投影物镜波像差的在线检测。相位提取是采用该技术进行波像差检测的重要步骤,直接影响最终的测量精度。针对双光栅Ronchi剪切干涉仪高阶衍射光影响相位提取精度的问题,提出了一种高精度的相位提取算法,可消除剪切干涉场中±1级衍射光重叠区域内高阶衍射光的干扰,提高剪切相位提取精度。仿真结果表明,该算法的剪切相位提取误差仅存在高频拟合残差,验证了该算法可有效抑制高阶衍射光的干扰。利用剪切率为0.058的双光栅Ronchi剪切干涉系统进行了实验,并与基于双光纤的点衍射干涉仪的测量结果进行对比,两种方法的测量结果具有相同的波像差分布,验证了所提剪切相位提取算法的有效性。
- 常春超李中梁卢云君卢云君
- 一种多方位四波剪切干涉的波前重建方法
- 本发明属于光学测试技术领域，涉及一种多方位四波剪切干涉的波前重建方法，通过精密自动旋转平台，在CCD相机上采集到N幅多个方向的正交剪切的四波干涉图像，利用傅里叶变换法分别提取N个不同正交方向的N组四波剪切干涉的差分相位，...
- 田爱玲朱亚辉王红军刘丙才王凯任柯鑫张郁文王思淇苏媛
- 一种基于原子剪切干涉的正负倾角交替测量方法及装置
- 本发明公开了一种基于原子剪切干涉的正负倾角交替测量装置，还公开了一种一种基于原子剪切干涉的正负倾角交替测量方法，在传统的π/2‑π‑π/2三脉冲马赫曾德尔原子干涉仪的最后一个拉曼脉冲作用之前，分别调节倾角偏转系统实现反射...
- 蒋俊杰周林闫思彤王谨詹明生
- 测量高数值孔径球面波的横向剪切干涉仪校准方法
- 本发明公开了测量高数值孔径球面波的横向剪切干涉仪校准方法，通过对高数值孔径球面波入射横向剪切干涉仪的几何光路进行理论分析，利用推导出的剪切波面系统误差公式定量计算剪切波面系统误差的大小；本发明方法通过在两束相干光的剪切波...
- 刘克韩玺廷李艳秋
- 中心不重合径向剪切干涉迭代波前重构算法仿真分析
- 2024年
- 径向剪切干涉测量时经常会出现扩束与缩束光波中心不重合情况,传统波前重构算法会导致较大重构误差,其应用受到挑战。推导了中心不重合径向剪切干涉迭代波前重构算法,仿真分析了组合像差、单阶Zernike像差、中心偏移量大小及其计算误差对重构算法的影响。结果表明,在剪切光波中心不重合情况下,该文算法能够准确进行波前重构,重构效果显著优于传统算法;在论文仿真条件下,随着中心偏移量的增大,本文算法重构波面均方根误差(RMS)不高于0.05λ,而传统算法重构误差RMS值达1.6λ且与偏移量近似线性相关。
- 杜旭升白福忠徐永祥徐永祥
- 关键词：径向剪切干涉仪
- 一种提取原子剪切干涉仪绝对重力相移的方法及装置
- 本发明公开了一种提取原子剪切干涉仪绝对重力相移的装置，还公开了一种提取原子剪切干涉仪绝对重力相移的方法，在多次进行π/2‑π‑π/2三脉冲马赫曾德尔原子干涉的过程中，在每次π/2‑π‑π/2三脉冲马赫曾德尔原子干涉的最后...
- 周林闫思彤蒋俊杰王谨詹明生
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- 唐锋
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- 卢云君
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- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题：波像差 干涉仪 剪切干涉 投影物镜 光栅
- 栾竹
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