搜索到 篇“ 刻蚀损伤 “的相关文章

相关作者

冯志红
作品数：691被引量：158H指数：7
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：肖特基二极管 氧化镓 金刚石 场效应晶体管 衬底
黄如
作品数：1,253被引量：361H指数：11
供职机构：北京大学
研究主题：场效应晶体管 晶体管 沟道 存储器 超大规模集成电路
黎明
作品数：197被引量：52H指数：4
供职机构：北京大学
研究主题：晶体管 半导体结构 倒片 堆叠 沟道
陈珙
作品数：34被引量：0H指数：0
供职机构：北京大学
研究主题：沟道 刻蚀损伤 纳米线 生物分子 超大规模集成电路
杨远程
作品数：35被引量：0H指数：0
供职机构：北京大学
研究主题：沟道 刻蚀损伤 超大规模集成电路 体硅 金属栅